규   격   서

품명 및 규격 Description	단위 Unit	수량 Quantity
기능성 레이어 두께 측정기 (Thickness measurement system for functional films, 모델명: SE MGUV-1000 )	set	1

◇ 특징

- 기능성 레이어 및 소재의 광학적 성질 및 두께를 비접촉, 비파괴, 비오염, 신속하게 측정 분석 가능하며 단층 및 다층 레이어의 두께를 0.01 nm의 정확도로 측정 가능하여야 함.

- 기능성레이어 두께 측정기의 측정 준비 작업(광부품 위치를 확)인 Calibration 작업이 15초 이내에 완료되어 빠른 시스템 동작이 가능하여야 함.

: 입사면에 대한 광부품의 각도를 빠르게 찾기 위해서 기존의 광부품을 short step 방식   으로 rotation시켜 calibration하지 않고 Long step 방식으로 rotaion시켜 calibration을 실시하여 15초 이내에 calibration을 완료할 수 있어야 함.

- 측정광의 입사각을 일정 간격으로 용이하게 변경시킬 수 있어야 함.

- 측정광의 파장은 250 nm ~ 840 nm로 UV 영역을 포함하고 있어야 함.

- 파라미터 변경 시 분석 결과를 실시간으로 그래프로 확인할 수 있어 최적의 모델링 조건을 바로 찾을 수 있어야함.

: 두께값을 클릭하여 변경하면 얇은 적, 청색 그래프인 실시간 시뮬레이션 데이터가 실시간으로 반영되어 그려지며 실시간으로 측정데이터와 실시간 비교 가능하여야 함.

: 분산방정식의 파라미터를 클릭하여 변경하면 얇은 적, 청색 그래프인 실시간 시뮬레이션 데이터가 실시간으로 반영되어 그려지며 실시간으로 측정데이터와 실시간 비교 가능하며 물질의 굴절률을 찾을 수 있어야 함.

- 측정을 위한 필수 작업을 단순화, 최적화하여 처음 사용자도 몇 분 간의 교육으로 시스템 운용이 가능하여야 함.

- Table top설치가 가능하도록 구성 부품을 최소화하고 시스템의 크기를 최적화하여 작은 공간에서도 시스템의 설치가 가능하여야 함.

◇ 기기의 구성

1. 광원부 : 광발생기 ( Tungsten Halogen & D2 Lamp, power supply, 광원 회로부,

냉각부가 일체형으로 구성)

2. 광 측정부 : Optical fiber, Lens, Iris, 광부품 및 모터를 내재한 입광부 및 수광부

측정 arm, Sample alignment, Sample stage

3. 시스템 제어부 : 시스템 Controller box ( 모터 Controller, Spectrophotometer, Power                  supply, 제어 신호 검출기가 Box 내부에 탐재됨 )

4. 측정/분석 시스템 : Control PC, 측정 Software ('Rotcom'), 분석 Software ('EllyReg')

※ 광 측정부와 시스템 제어부는 서로 부착되어 하나의 body를 이룸.

◇ 상세 규격

No	상 세 규 격	수 량
1	◇ 광원부 - 광 발생기(D2 &Tungsten Halogen light source) 150 x 135 x 319 t : 1ea - Wavelength : 250 nm ~ 840 nm (1.5 eV ~ 5.0 eV) - Angle of Incidence : 45 ~ 90o with 5o step	1 set
2	◇ 광 측정부 - 광 발광부 및 수광부 측정 arm (180 x 60 x 70): 2 ea - Optical fiber ( 1.0 m ): 2 ea - Sample Stage[θ,Ø,z-axis] : 1 set - Throughput : 5 ~ 10 sec. per point	1 set
3	◇ 시스템 제어부 - 시스템 제어부 ( 시스템 Controller box ) : 400 x 300 x 300 t : 1 ea - Calibration time : 15 sec. 이하 ※ 광 측정부와 시스템 제어부는 서로 부착되어 하나의 body를 이룸.	1 set
4	◇ 측정 분석 시스템 - Control PC (win7 32bit) : 1ea - 측정 Software ('Rotcom') : 1ea - 분석 Software ('EllyReg') : 1ea	1 set
5	◇ 기 타 ▷ 측정가능 샘플 크기 - 5mm x 5mm ~ 200mm x 200mm ▷ 기기 검수 spec. - Measurement Repeatability 3σ : 10회 측정 시 ± 0.1 nm (SiO2 on silicon wafer[1000Å] ) ▷ A/S - 제품보증기간은 납품일로부터 1년임. ▷ Spare Parts - 1년간 사용에 필요한 spare part 제안서 제출 시 list 첨부 ▷ Operating manual : 1 set 제공 ▷ 납기 : 계약일로 부터 3개월